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ProRGA-7000残余气体质谱分析仪
ProRGA-7000是聚光科技基于质谱分析技术平台开发的一款高性能残余气体分析仪,用于检测特定真空区域内关键气体分压,适用于真空度10Pa到常压应用场合。具有毫秒级响应速度和ppb级的灵敏度,非常适合检测真空泄露状态,如电池、半导体、冻干机等真空腔体内部特定过程相关气体的污染水平或动态波动,并及时提醒用户可能产生的潜在风险,提升产品良品率。
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